薄膜技術與表面分析 110年度第1學期
(Thin-Film Technology and Surface Analysis)

1. 課程簡介與薄膜之製作技術 (Introduction & Fabrication of Thin film) (吳嘉文)
1.1 授課資訊及課程內容介紹
1.2 薄膜之製作技術
溶膠-凝膠法：溶膠-凝膠拉伸法及旋轉塗佈法的原理；溶膠-凝膠法的各項技術；溶膠-凝膠法的各項優點

2. 表面分析技術介紹 (X光吸收光譜&表面物理化學吸附) (吳嘉文)
2.1 X光吸收光譜之原理與應用 (EXAFS & XANES)
2.2 表面物理化學吸附 (Nitrogen adsorption/desorption isotherm)

3. 二維石墨烯之製備 & 掃瞄電化學顯微鏡 (吳嘉文)
3.1 二維石墨烯之製備與應用 (Large-scale 2D graphene fabrication)
3.2 掃瞄電化學顯微鏡 (SECM) 之原理介紹與表面電化學量測

4. 物理法薄膜製備 (陳嘉晉)
蒸鍍法、濺鍍法、分子束磊晶等物理薄膜製備原理

5. 薄膜電性量測 (陳嘉晉)
薄膜導電度量測與分析技術

6. 微機電製程概述 (林順區博士)
微機電製程介紹與整合